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液体および気体向けソリッドステート流量センサーモジュールで

2017年07月27日

SiCでコーティングされた MEMS ベースのデジタル流量センサーは、業界で
最も堅牢性に優れた信頼性の高いソリューションであり、食品グレードにも対応

IDT® (Integrated Device Technology, Inc.、本社:米国カリフォルニア州サンノゼ、NASDAQ:IDTI)は本日、業界をリードするセンサー製品のポートフォリオに、MEMSベースの流量センサーモジュールを追加することを発表しました。革新的なソリッドステートセンサー素子の設計が、競合製品に見られがちな空洞や隔膜を排除し、SiC(シリコンカーバイド)コーティングによる保護を採用することで、業界で最も堅牢性に優れ、信頼性の高い流量センサー素子を実現していると同時に、食品グレードの用途にも対応しています。

 

IDT® FS1012 およびFS2012 は、液体と気体の両方に適した高性能デジタル流量センサーモジュール です。これらのセンサーは可動部品を持たず、空洞部を覆う壊れやすい隔膜もなく、さらにSiCコーティングで保護されています。これによりセンサー素子の詰まりや液体に対する感圧性を排除し、優れた耐衝撃性を提供するほか、化学物質によるセンサー素子の損傷を防ぐなど、他の一般的なセンサーアーキテクチャに内在するさまざまな問題を克服しています。これらの問題に対する配慮により、IDTのソリューションは、医療用や産業用、FDA の基準を満たす食品グレードの民生アプリケーションなど、信頼性と堅牢性が重視され、二次汚染が重大な要素となる用途において特に望ましい選択肢となっています。

 

「業界最先端のセンサーソリューションを取り揃えた IDT のポートフォリオは、急速に拡大しています」と、IDT のグローバルオペレーション担当エグゼクティブバイスプレジデント兼最高技術責任者である Sailesh Chittipeddi は述べています。「流量センサーモジュールの導入により、IDTは医療、産業、民生用アプリケーション分野に新たな事業機会を見出しています。これらは、シグナルコンディショニングおよびタイミング製品で当社が長年にわたり多くの顧客と関係と高い評判を築き上げてきた分野でもあります。お客様にも早期段階からお声をかけていますが、困難な課題を解決するこれらのデジタル流量センサーには多大な関心と称賛が寄せられています」

 

この流量センサーモジュールは測定値の誤差をわずか2%に抑えており、高流量・低流量の両環境に同一のセンサーモジュールを使用して高い精度を得ることができます。コンパクトなパッケージと、-40~125°C という広い動作温度範囲、3V~5Vという汎用性の高い供給電圧範囲により、システム設計の統合における制約を緩和しています。用途の例としては、飲料ディスペンサー、点滴静注モニター、酸素モニター、マスエアフローセンサー、各種プロセス機器に使われるガス流量モニターなどが挙げられます。

 

FS1012は、アナログ出力を備えた未校正のスタンドアロン型流量センサーモジュールです。FS2012は同じ流量センサーの完全校正済みバージョンであり、アナログからデジタルへのコンバータを内蔵しているほか、温度補正回路により複雑なデジタルシステムにおけるプラグアンドプレイ使用が可能です。

 

FS1012およびFS2012 流量センサーモジュールは現在入手可能です。詳しい情報やサンプルをご希望の方は、www.IDT.com/flow をご覧ください。業界をリードするIDTのセンサー製品ポートフォリオの詳細については、センサー製品ウェブページをご覧になるか、IDTの販売代理店にお問い合わせください。